المصدر: mtiinstruments
ASTM F657:
المسافة من خلال رقاقة بين النقاط المقابلة على السطح الأمامي والخلفي. يتم التعبير عن السماكة بالميكرونات أو الأميال (الألف من البوصة).
تباين السماكة الكلية (TTV)
ASTM F657:
الفرق بين الحد الأقصى والحد الأدنى لقيم السماكة التي تمت مواجهتها أثناء نمط المسح أو سلسلة من قياسات النقاط. يتم التعبير عن TTV بالميكرون أو المل (ألف من البوصة).
يوضح الشكل أعلاه رقاقة يتم وضعها بين تحقيقين لقياس عدم الاتصال. من خلال مراقبة التغييرات بين وجه المسبار العلوي وسطح الرقاقة العلوي (A) ووجه مسبار القاع وسطح الرقاقة السفلية (B) ، يمكن حساب السماكة. أولاً ، يجب معايرة النظام باستخدام رقاقة بسماكة معروفة (T w ). يتم وضع منطقة السماكة المعروفة بين المجسات وتحقيقًا أعلى للفجوة (A) ويتم الحصول على مجس سفلي للفجوة (B). ثم يتم حساب الفجوة الكلية (Gtotal) بين المجسات العلوية والسفلية على النحو التالي:
مجموع G = A + B + T ث
مع معايرة النظام ، يمكن الآن قياس رقائق بسماكة غير معروفة. عندما يتم وضع الرقاقة بين المجسات ، يتم الحصول على قيمة جديدة من A و B. يتم حساب السماكة على النحو التالي:
T w = G الإجمالي - (A + B)
أثناء المسح الآلي للرقاقة ، يتم أخذ سلسلة من قياسات النقاط وتخزينها. بعد الانتهاء من الفحص ، يتم حساب TTV على النحو التالي:
TTV = T كحد أقصى - T دقيقة
غير قياس الاتصال القوس
ASTM F534 3.1.2:
انحراف النقطة المركزية للسطح المتوسط لرقاقة حرة غير مطلية من المستوى المرجعي المتوسط للسطح الذي أنشأته ثلاث نقاط متباعدة بالتساوي على دائرة قطرها كمية محددة أقل من القطر الاسمي للرقاقة.
متوسط السطح:
موضع النقاط في الرقاقة بين السطوح الأمامية والخلفية. عند قياس القوس وحسابه ، من المهم الإشارة إلى أنه يجب أن يكون متوسط سطح موقع الرقاقة معروفًا. عن طريق قياس انحرافات السطح المتوسط ، تتم إزالة اختلافات السمك الموضعية عند النقطة المركزية للرقاقة من الحساب.
أعلاه يوضح علاقة السطح المتوسط للرقاقة بين وجهي التحقيق حيث:
D = المسافة بين وجه التحقيق العلوي والسفلي
A = المسافة من المسبار العلوي إلى سطح الرقاقة العلوي
B = المسافة من المسبار السفلي إلى سطح الرقاقة السفلية
Z = المسافة بين سطح متوسط الرقاقة والنقطة في منتصف المسافة بين المسبار العلوي والسفلي (D / 2)
لتحديد قيمة Z في أي مكان على الرقاقة ، توجد معادلتان:
Z = D / 2 - A - T / 2 و Z = -D / 2 + B + T / 2
حل كلا المعادلتين لـ Z ، يمكن تحديد القيمة ببساطة عن طريق:
Z = (B - A) / 2
نظرًا لأن القوس يتم قياسه عند النقطة المركزية للرقاقة فقط ، يتم حساب مستوى مرجعي بثلاثة (3) نقاط حول حافة الرقاقة. ثم يتم حساب قيمة القوس عن طريق قياس موقع السطح المتوسط في وسط الرقاقة وتحديد المسافة من المستوى المرجعي. لاحظ أن القوس يمكن أن يكون رقمًا موجبًا أو سالبًا. الموجب يدل على أن النقطة المركزية للسطح المتوسط فوق المستوى المرجعي المكون من ثلاث نقاط. تشير السالب إلى النقطة المركزية للسطح المتوسط أسفل المستوى المرجعي المكون من ثلاث نقاط.
WARP قياس للصناعة الشمسية
ASTM F1390:
الاختلافات بين الحد الأقصى والأدنى للمسافات للسطح المتوسط لرقاقة حرة غير مطوية من مكان مرجعي. مثل القوس ، الاعوجاج هو مقياس للتمايز بين السطح المتوسط للرقاقة والمستوى المرجعي. ومع ذلك ، يستخدم Warp السطح المتوسط بالكامل للرقاقة بدلاً من الموضع في نقطة الوسط فقط. من خلال النظر إلى الرقاقة بأكملها ، يوفر الاعوجاج قياسًا أكثر فائدة لشكل الرقاقة الحقيقي. يتم حساب موقع السطح المتوسط تمامًا كما هو الحال بالنسبة للقوس والموضحة أعلاه. لتحديد الاعوجاج ، هناك خياران لبناء الطائرة المرجعية. واحد هو نفس الطائرة ذات الثلاث نقاط حول حافة الرقاقة. والآخر هو عن طريق إجراء حساب مناسب على المربعات الصغرى لبيانات السطح المتوسطة المكتسبة أثناء فحص القياس. ثم يتم حساب الاعوجاج من خلال إيجاد أقصى انحراف عن المستوى المرجعي (RPD max ) والحد الأدنى للتمايز عن المستوى المرجعي (RPD min ). يُعرّف RPD max بأنه أكبر مسافة فوق المستوى المرجعي وهو رقم موجب. RPD min هي أكبر مسافة أسفل المستوى المرجعي وهي رقم سالب.
الشكل أعلاه هو مثال على حساب الاعوجاج. في هذا المثال ، يكون RPDmax 1.5 ويظهر على أنه أقصى مسافة للسطح المتوسط فوق المستوى المرجعي. RPDmin هو - 1.5 ويظهر على أنه أقصى مسافة للسطح المتوسط أسفل المستوى المرجعي. ملاحظة الاعوجاج هي دائما قيمة إيجابية.
الاعوجاج = 1.5 - (-1.5) = 3
كما يوضح فائدة أخذ كل من قراءات القوس والقذف. يتقاطع السطح المتوسط للرقاقة المبينة مع المستوى المرجعي في مركز الرقاقة ، وبالتالي فإن قياس القوس سيكون صفراً. تكون قيمة الاعوجاج المحسوبة أكثر فائدة في هذه الحالة لأنها تخبر المستخدم بأن الرقاقة لديها مخالفات في الشكل.
