5 بوصة (125 ملم) ويفر

نوع / المقوي

P، Boron N، Phosphorous N، Antimony N، الزرنيخ

F42

التوجهات

<100> ، <111> شريحة من التوجهات لكل مواصفات العميل

F26

محتوى الاكسجين

10 ¹⁹ ppmA التفاوتات المخصصة لكل مواصفات العميل

F121

محتوى الكربون

<0.6 جزءًا="" في="">

F123

يتراوح النقاوة- P ، البورون- N ، الفوسفور- N ، الأنتيمون- N ، الزرنيخ

0.001 - 50 أوم · سم
0.1 - 40 أوم · سم
0.005 - 0.025 أوم · سم
<0.005> · سم

F84

قطر الدائرة

125 ± 0.2 مم

125 ± 0.2 مم

125 ± 0.5 مم

F613

سماكة

625 ± 20 µm (قياسي)

625 ± 25 µm (قياسي) 500 ± 25 µm 1000 ± 25 µm

625 ± 50 µm (قياسي)

F533

TTV

<5>

<10>

<15>

F657

ينحني

<30>

<30>

<50>

F657

لف

<30>

<30>

<50>

F657

حافة التقريب

SEMI-STD

F928

العلامات

SEMI-STD Flats، Primary SEMI-Flat only، Jeida Flat، Notch

F26 ، F671

معايير الجانب الأمامي

حالة السطح

الكيماويات الميكانيكية المصقولة

الكيماويات الميكانيكية المصقولة

الكيماويات الميكانيكية المصقولة

F523

خشونة السطح

<2>

<2>

<2>

التلوث ، الجسيمات @> 0.3 ميكرون

= 20

= 20

= 30

F523

ضباب ، حفر ، قشر البرتقال

لا شيء

لا شيء

لا شيء

F523

شهدت علامات ، والتشددات

لا شيء

لا شيء

لا شيء

F523

معايير الجانب الخلفي

الشقوق ، crowsfeet ، علامات المنشار ، البقع

لا شيء

لا شيء

لا شيء

F523

حالة السطح

محفور Caustic

F523