يتميز رقاقة السيليكون أحادي البلورة من النوع N-type بتصميم مربع كامل 158.75 × 158.75 مم ، مما يزيد من التعرض للضوء وكفاءة الوحدة النمطية. تم تصنيعه باستخدام طريقة CZ مع المنشطات الفسفور ، ويوفر جودة ممتازة للمواد ، وكثافة خلع منخفضة (أقل من أو تساوي 500 سم ²) ، و<100>اتجاه البلورة. مع الموصلية من النوع N ، نطاق المقاومة من 0.5–7 Ω · سم ، وعمر الناقل يصل إلى أكبر من أو يساوي 1000 ، وهو مناسب تمامًا لتقنيات الخلايا عالية الكفاءة مثل Topcon و HJT. يضمن الشكل المربع الكامل والتحمل الهندسي الضيق تكامل وأداء الوحدة النمطية الأمثل.
1. خصائص المواد
|
ملكية |
مواصفة |
طريقة التفتيش |
|
طريقة النمو |
CZ |
|
|
البلورة |
أحادي البلورة |
تقنيات الحفر التفضيلية(ASTM F47-88) |
|
نوع الموصلية |
n-type |
نابسون EC-80TPN |
|
Dopant |
الفسفور |
- |
|
تركيز الأكسجين [OI] |
أقل من أو يساوي8e +17 في/سم3 |
FTIR (ASTM F121-83) |
|
تركيز الكربون [CS] |
أقل من أو يساوي5e +16 في/سم3 |
FTIR (ASTM F123-91) |
|
كثافة حفرة الحفر (كثافة الخلع) |
أقل من أو يساوي500 سم-2 |
تقنيات الحفر التفضيلية(ASTM F47-88) |
|
اتجاه السطح |
<100>± 3 درجة |
طريقة حيود الأشعة السينية (ASTM F26-1987) |
|
اتجاه الجوانب المربعة الزائفة |
<010>,<001>± 3 درجة |
طريقة حيود الأشعة السينية (ASTM F26-1987) |
2. الخواص الكهربائية
|
ملكية |
مواصفة |
طريقة التفتيش |
|
المقاومة |
1.0-7.0 ω.cm
|
نظام تفتيش الرقاقة |
|
MCLT (حياة الناقل الأقلية) |
أكبر من أو تساوي 1000 µs (المقاومة ＞ 1.0ohm.cm)
أكبر من أو تساوي 500 µs (المقاومة ＜ 1.0ohm.cm)
|
Sinton BCT-400 QSSPC/عابرة
(مع مستوى الحقن: 1E15 سم -3)
|
3. القياس
|
ملكية |
مواصفة |
طريقة التفتيش |
|
الهندسة |
مربع الزائفة |
|
|
شكل حافة مطفقة
|
دائري | |
|
طول جانب الويفر |
182 ± 0.25 مم
|
نظام تفتيش الرقاقة |
|
قطر الرقاقة |
φ247 ± 0.25 مم |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
زاوية بين الجوانب المجاورة |
90 درجة ± 0.2 درجة |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
سماكة |
180﹢ 20/﹣10 µm
175﹢ 20/﹣10 µm
170﹢ 20/﹣10 µm
160﹢ 20/﹣10 µm
150﹢ 20/﹣10 µm
|
نظام تفتيش الرقاقة |
|
TTV (تباين السماكة الكلية) |
أقل من أو يساوي 27 µm |
نظام تفتيش الرقاقة |
4.خصائص السطح
|
ملكية |
مواصفة |
طريقة التفتيش |
|
طريقة القطع |
DW |
-- |
|
جودة السطح |
كما قطع وتنظيف ، لا يُسمح بأي تلوث مرئي ، (زيت أو شحوم ، مطبوعات الأصابع ، بقع الصابون ، بقع الملاط ، بقع الإيبوكسي/الغراء) |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
شاهد علامات / خطوات |
أقل من أو يساوي 15µm |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
قَوس |
أقل من أو يساوي 40 ميكرون |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
الاعوجاج |
أقل من أو يساوي 40 ميكرون |
نظام تفتيش الرقاقة |
|
رقاقة |
عمق أقل من أو يساوي 0.3 ملم وطول أقل من أو يساوي 0.5 ملم كحد أقصى 2/أجهزة الكمبيوتر ؛ لا رقاقة V. |
عيون عارية أو نظام فحص الرقاقة |
|
الشقوق / الثقوب الصغيرة |
غير مسموح به |
نظام تفتيش الرقاقة |
الوسم : N-type G1 أحادي البلورة مواصفات رقاقة السيليكون ، الصين ، الموردين ، المصنعين ، المصنع ، صنع في الصين
